振動測試與分析

場地微振量測服務：
針對不同設備的需求，本公司可以到現場量測場地數據，並將您的設備相關資料交由原廠專業評估，確保產品效果無虞後再使用在設備上。
不僅提供給客戶高效能的減振產品，同時為客戶進行減振性能仿真，振動實測，分析設備設計過程中存在的問題，並提供完整解決方案。
(歡迎來電或利用聯絡我們咨詢)
點擊進入官方Youtube頻道

產品介紹
產品規格

場地微振量測服務

Site Micro-Vibration Survey & Analysis

精密設備對環境振動極度敏感。那些肉眼看不見、頻率落在 1–100 Hz、速度振幅低於 50 μm/s 的「微振動」，卻可能默默影響設備精度、成像解析度、製程良率，甚至縮短設備使用壽命。

我們提供的不只是量測，而是從現場數據到改善建議的完整技術服務，協助您在設備安裝前、運行過程中，或異常發生時，精準掌握場地真實振動狀況。

適用對象

半導體製程與檢測設備（光刻、量測、離子注入等）、電子顯微鏡（SEM / TEM / FIB）、光學顯微鏡、雷射干涉儀、光學平台、原子力顯微鏡（AFM）、精密天平、生醫與奈米級研究設備、無塵室樓板與設備基座評估。

我們實際怎麼做？

現場微振量測

使用高靈敏度加速度計，進行三軸（X、Y、Z）同步量測
依場地特性與設備位置，規劃最適測點
頻率範圍涵蓋 1–100 Hz（可依需求延伸）
同時記錄可能干擾源：人員走動、空調、鄰近設備運轉等

數據分析與評估

將時域訊號轉換為三分之一倍頻程速度譜
直接對應國際通用 VC-Curve（Vibration Criterion Curves）
清楚判斷場地是否符合設備原廠要求或目標 VC 等級（VC-A ~ VC-G）
必要時結合減振性能仿真，提出具體改善方向

服務流程

1. 需求確認 → 了解設備規格、原廠要求與目標等級
2. 現場量測規劃 → 依場地特性安排測點與時段
3. 數據採集與分析 → 三軸量測 → 頻譜分析 → VC 等級判定
4. 報告與建議 → 完整報告 + 潛在振源分析 + 改善建議
5. 後續支援（選配） → 減振產品選型、仿真、複測驗證

為什麼選擇我們？

標準對應	直接對應 VC-Curve 與設備原廠規格，結果具國際通用性
量測完整性	三軸同步 + 時域與頻域雙重分析
整合能力	可結合減振產品、仿真，提供從量測到解決方案的完整服務
實務導向	不只給數據，更提供可執行的改善建議與後續驗證

什麼時候該找我們？

新廠建置或設備導入前：先確認場地是否合格，避免安裝後才發現問題
現有設備出現異常：精度下降、影像抖動時，快速釐清是否為環境振動所致
減振方案驗證：安裝隔振台或結構強化後，進行前後比對量測

有精密設備安裝前評估、場地微振診斷，或減振方案需求嗎？

歡迎直接與我們聯繫，我們會依實際情況提供專業建議與服務。

國際微振標準與減振產品推薦對照表

Vibration Criteria & Solution Matrix

基準等級 (VC-Curve)	典型應用與設備需求	振幅限值 RMS μm/s (μin/s)	最小加工/量測解析度 Detail Size (μm)	推薦使用減振產品 (Recommended Solutions)
工作車間(ISO) Workshop(ISO)	可明顯感知到振動。適用於一般機械加工車間與非敏感作業區。	800 (32,000)	N/A	高載重防振橡膠墊 / 彈簧減振器 • 降低設備對結構的低頻干擾，剛性高、耐油耐用。
辦公室(ISO) Office(ISO)	可感知到振動。適用於一般辦公室與非敏感區域。	400 (16,000)	N/A	設備底座減振腳墊 (Leveling Pads) • 提供基本結構隔離與水平調整。
住宅區(ISO) Residential(ISO)	幾乎感知不到振動。適用於住宅睡眠區、電腦機房、醫院恢復室、半導體探針測試卡及 40x 以下光學顯微鏡。	200 (8,000)	75	高分子減振墊 (Standard Rubber Pads) • 結合鋼板與減振墊，提供中低頻率隔離。
手術室(ISO) Operating Theatre(ISO)	人體無法感知之振動。適用於醫院手術室、高達 100x 之光學顯微鏡及其他低敏感度設備。	100 (4,000)	25	被動式氣囊減振器 (Passive Air Spring Vibration Isolation ) • 具備自定心與自平調整功能，防振效率 >70%。
VC-A	多數情況下適用於高達 400x 之光學顯微鏡、微量天平、近接式與投影式對照曝光機（Aligners）等。	50 (2,000)	8	被動式標準減振平台 (Passive Pneumatic Optical Table) • 精密光學桌，隔離 10Hz 以上共振頻率。
VC-B	適用於微米級光刻（Lithography）與檢測設備、線寬達 3μm 之步進式曝光機（Stepper）。	25 (1,000)	3	被動式高端減振系統 (Passive Advanced Vibration Isolation ) • 搭配氣壓自動對中與快速響應迴路。
VC-C	適用於 1000x 光學顯微鏡、細部尺寸達 1μm 之光刻/檢測設備（含中度敏感 SEM）、TFT-LCD 曝光與掃描製程。	12.5 (500)	1~3	主動式微振控制系統 (Active Vibration Isolation Systems) • 搭配高感度 Piezo / Voice Coil 致動器，主動對抵 1Hz 低頻振動。
VC-D	適用於高嚴苛度之高精度設備，包含多數 SEM、TEM 及電子束（E-Beam）系統。	6.25 (250)	0.1~0.3	主動式微振控制台 + 結構剛性補強鋼板 • 採 6 自由度 (6-DOF) 主動消振，配合底座 200mm 以上加厚基板。
VC-E	極難達成的防振標準。適用於長光路雷射系統、奈米級電子束微影、超高解析度 SEM/AFM 及需要極高動態穩定性之先進製程。	3.12 (125)	＜0.1	模組化主動隔振系統 + 獨立底座 • 具備 Sub-Hz 主動消振能力，消除無塵室樓板低頻共振。
VC-F	適用於極度安靜之前瞻研究空間；於無塵室環境中極難達成，通常僅作為環境評估參考。	1.56 (62.5)	N/A	雙重主動隔振結構 + 地基切縫隔離 • 需從建築結構、地基切縫到主動式系統全方位整合設計。
VC-G	適用於極度安靜之前瞻研究空間；於無塵室環境中極難達成，通常僅作為環境評估參考。	0.78 (31.3)	N/A	雙重主動隔振結構 + 地基切縫隔離 • 需從建築結構、地基切縫到主動式系統全方位整合設計。

產品整合應用建議

被動式減振（Passive Isolation）：適用於 VC-A 到 VC-B 等級，以空氣彈簧（加阻尼油）或減振墊為主，具備高 CP 值，能有效隔離 10Hz 以上的中高頻振動。

主動式減振（Active Isolation）：適用於 VC-C 到 VC-E 等級（如 SEM、AFM、E-Beam），利用內部加速度感測器即時捕捉振動，並以致動器產生反向力消除，特別針對 10Hz 以下的極低頻樓板共振。